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深紫外光栅反常偏振器件的设计与分析
为实现金属光栅偏振器件在光刻机偏振照明系统中的应用,基于共振域光栅的反常偏振效应,提出一种以二氧化硅为基底、铝与氟化镁作为......
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激光光学
深紫外波段
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反常偏振效应
光栅偏振器件
偏振性能
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